[发明专利]用于EPI腔室的注射插件

摘要

本发明的实施方式提供包含注射插件的衬垫组件。所述注射插件使得跨过正在被处理的基板的流动参数的可维持性变为可能，例如速度、密度、方向和空间位置。根据本发明的实施方式，跨过正在被处理的基板的处理气体可被特定地定制用于使用衬垫组件的个别处理。

主权项

一种注射插件，包括：单片主体，所述单片主体带有内连接表面和外表面以连接气体输送装置；多个注射端口，所述多个注射端口穿过所述单片主体而形成，各注射端口在所述内连接表面和所述外表面中形成开口，所述多个注射端口产生至少：第一区域，所述第一区域带有所述多个注射端口的第一数量的注射端口；第二区域，所述第二区域带有所述多个注射端口的第二数量的注射端口，所述第二数量的注射端口与所述第一数量的注射端口不同；和第三区域，所述第三区域带有所述多个注射端口的第三数量的注射端口，所述第三数量的注射端口与所述第一数量的注射端口和所述第二数量的注射端口不同；和多个注射入口，所述多个注射入口的每一个连接所述多个注射端口的至少一个。