[发明专利]用于EPI腔室的注射插件

权利要求书

1.一种注射插件，包括：

单片主体，所述单片主体带有内连接表面和外表面以连接气体输送装置，所述单片主体具有：

多个注射端口，所述多个注射端口穿过所述单片主体而形成，各注射端口在所述内连接表面和所述外表面中形成开口，其中在所述多个注射端口中的至少两个注射端口之间形成有分支，所述多个注射端口产生至少：

第一区域，所述第一区域带有所述多个注射端口的第一数量的注射端口；

第二区域，所述第二区域带有所述多个注射端口的第二数量的注射端口，所述第二数量的注射端口与所述第一数量的注射端口不同；和

第三区域，所述第三区域带有所述多个注射端口的第三数量的注射端口，所述第三数量的注射端口与所述第一数量的注射端口和所述第二数量的注射端口不同；和

多个注射入口，所述多个注射入口的每一个连接所述多个注射端口的至少一个。

2.如权利要求1所述的注射插件，其中所述多个注射入口中至少第一入口具有宽度，所述宽度大于所述多个注射入口的第二入口。

3.如权利要求1所述的注射插件，其中所述第一区域具有一个注射端口，所述第二区域具有两个注射端口且所述第三区域具有四个注射端口。

4.如权利要求1所述的注射插件，其中所述第一数量的注射端口、所述第二数量的注射端口和所述第三数量的注射端口为非重叠的。

5.如权利要求1所述的注射插件，其中所述多个注射入口中至少第一入口具有宽度，所述宽度小于所述多个入口的第二入口。

6.如权利要求1所述的注射插件，其中在所述多个注射端口中拥有多于一列的注射端口。

7.一种注射插件，包括：

单片主体，所述单片主体带有用于连接衬垫主体的内连接表面和用于连接气体输送装置的外表面，所述单片主体具有：

多个注射端口，所述多个注射端口穿过所述单片主体而形成，各注射端口在所述内连接表面和所述外表面中形成开口，其中在所述多个注射端口中的至少两个注射端口之间形成有分支；和

多个注射入口，所述多个注射入口的每一个连接所述多个注射端口的至少一个，其中所述多个注射入口中至少第一入口包括第一宽度，所述第一宽度大于所述多个注射入口的平均宽度。

8.如权利要求7所述的注射插件，其中所述第一入口具有到所述第一宽度的梯度增加，以产生圆锥状的外型。

9.如权利要求7所述的注射插件，其中所述多个注射入口的第二入口包括第二宽度，所述第二宽度小于所述平均宽度。

10.如权利要求7所述的注射插件，其中所述多个注射端口包括第一区域、第二区域和第三区域。

11.如权利要求7所述的注射插件，其中所述单片主体包括石英。

12.如权利要求7所述的注射插件，其中在所述多个注射端口中拥有多于一列的注射端口。

13.如权利要求7所述的注射插件，其中所述多个注射端口包括七个或更多个注射端口。