[发明专利]醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的形成方法和醇化合物有效
| 申请号： | 201580040201.7 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN106660946B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 樱井淳;畑濑雅子;吉野智晴;远津正挥 | 申请（专利权）人： | 株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07C251/08 | 分类号： | C07C251/08;C23C16/18;H01L21/285;C07F1/08;C07F15/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的醇盐化合物的特征在于由下述通式(I)表示。 |
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| 搜索关键词： | 盐化 薄膜 形成 原料 方法 醇化 | ||
【主权项】：
1.下述通式(I)表示的醇盐化合物，![]()
式中，R1为乙基时，R2为乙基；或者当R1为甲基时，R2为异丙基；R3为碳数1～3的烃基；M表示铜、铁、镍、钴或锰；n表示M表示的金属原子的价数。
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