[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器，经由具有第1梁构成部件和第2梁构成部件的多个梁部将振动体支承于外周部，在将基板的面方向中的一方向设为第1方向、将基板的面方向之中的与第1方向正交的方向设为第2方向时，第1梁构成部件至少能够在第1方向上位移，第2梁构成部件与第1梁构成部件连结，至少能够在第2方向上位移，多个梁部中的至少一部分中，将第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的外周部侧的梁构成部件相互一体化。

主权项

1.一种角速度传感器，具备：基板(10)，使用压电材料而构成；振动体(12)，形成于所述基板，具有在所述基板的面方向上振动的第1振动片和第2振动片(14a和14b)；以及外周部(13)，形成于所述基板，配置在所述振动体的周围；在使所述振动体振动的状态下被施加角速度时，产生与该角速度相应的电荷，所述振动体经由具有第1梁构成部件(16a～19a)和第2梁构成部件(16b～19b)的多个梁部(16～19)支承于所述外周部，在将所述基板的面方向中的一方向设为第1方向、将所述基板的面方向之中的与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述第1梁构成部件(16a～19a)至少能够在所述第1方向上位移，所述第2梁构成部件(16b～19b)与所述第1梁构成部件连结，至少能够在所述第2方向上位移，所述振动体具有基部(15)，该基部(15)在使所述第1振动片和所述第2振动片向相同方向突出的状态下支承所述第1振动片和所述第2振动片，所述多个梁部中的至少一部分的、所述第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的所述外周部侧的梁构成部件相互被一体化，在被施加了沿着所述第1振动片和所述第2振动片的排列方向的方向的冲击时，设所述第1振动片及所述第2振动片和所述基部向相同方向振动的同相模式的共振频率为f1，设所述第1振动片及所述第2振动片和所述基部向相反方向振动的同相吸收模式的共振频率为f3，设n为整数的情况下，以下关系成立：所述同相吸收模式的共振频率f3大于所述同相模式的共振频率f1，所述同相吸收模式的共振频率f3与所述同相模式的共振频率f1的n倍的值之差的绝对值Δf3大于对所述同相模式的共振频率f1乘以回避差D而得到的值，并且所述回避差D大于0％，所述回避差D表示使该绝对值Δf3从所述同相模式的共振频率f1偏离的程度。