[发明专利]角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器，具备：

基板(10)，使用压电材料而构成；

振动体(12)，形成于所述基板，具有在所述基板的面方向上振动的第1振动片和第2振动片(14a和14b)；以及

外周部(13)，形成于所述基板，配置在所述振动体的周围；

在使所述振动体振动的状态下被施加角速度时，产生与该角速度相应的电荷，

所述振动体经由具有第1梁构成部件(16a～19a)和第2梁构成部件(16b～19b)的多个梁部(16～19)支承于所述外周部，在将所述基板的面方向中的一方向设为第1方向、将所述基板的面方向之中的与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述第1梁构成部件(16a～19a)至少能够在所述第1方向上位移，所述第2梁构成部件(16b～19b)与所述第1梁构成部件连结，至少能够在所述第2方向上位移，所述振动体具有基部(15)，该基部(15)在使所述第1振动片和所述第2振动片向相同方向突出的状态下支承所述第1振动片和所述第2振动片，

所述多个梁部中的至少一部分的、所述第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的所述外周部侧的梁构成部件相互被一体化，

在被施加了沿着所述第1振动片和所述第2振动片的排列方向的方向的冲击时，设所述第1振动片及所述第2振动片和所述基部向相同方向振动的同相模式的共振频率为f1，设所述第1振动片及所述第2振动片和所述基部向相反方向振动的同相吸收模式的共振频率为f3，设n为整数的情况下，以下关系成立：所述同相吸收模式的共振频率f3大于所述同相模式的共振频率f1，所述同相吸收模式的共振频率f3与所述同相模式的共振频率f1的n倍的值之差的绝对值Δf3大于对所述同相模式的共振频率f1乘以回避差D而得到的值，并且所述回避差D大于0％，所述回避差D表示使该绝对值Δf3从所述同相模式的共振频率f1偏离的程度。

2.如权利要求1所述的角速度传感器，

在所述振动体与所述外周部之间，形成有框部(20)；

所述多个梁部的所述第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的所述外周部侧的梁构成部件由所述框部构成，由此所述多个梁部全部被一体化。

3.如权利要求1或2所述的角速度传感器，

所述多个梁部的弹簧常数比所述第1振动片和所述第2振动片所具有的弹簧常数小。

4.如权利要求1或2所述的角速度传感器，

通过将在所述第1振动片和所述第2振动片上产生的电荷进行差动放大，检测所述角速度，

在将与所述第1方向以及所述第2方向正交的方向设为第3方向时，所述第1振动片和所述第2振动片，当在所述第1方向上驱动振动时被施加所述角速度时，在所述第3方向上向相互相反方向振动，在被施加了沿着所述第3方向的方向的冲击时，具有该第1振动片和所述第2振动片在所述第3方向上向相同方向振动的同相模式的共振频率fin、和向相互相反方向振动的反相模式的共振频率fanti，在将反相模式的共振频率fanti与同相模式的共振频率fin的差分除以反相模式的共振频率fanti而得到的值、即(fanti―fin)/fanti定义为去耦合率时，该去耦合率的绝对值为0.2以上。