[发明专利]角速度传感器

说明书

一种角速度传感器，经由具有第1梁构成部件和第2梁构成部件的多个梁部将振动体支承于外周部，在将基板的面方向中的一方向设为第1方向、将基板的面方向之中的与第1方向正交的方向设为第2方向时，第1梁构成部件至少能够在第1方向上位移，第2梁构成部件与第1梁构成部件连结，至少能够在第2方向上位移，多个梁部中的至少一部分中，将第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的外周部侧的梁构成部件相互一体化。

相关申请的交叉引用

本申请基于2014年6月13日提出的日本申请号2014－122512号，在此引用其记载内容。

技术领域

本申请涉及具有振动体的角速度传感器。

背景技术

以往以来，提出并记载了具有振动片被固定于基部的振动体的角速度传感器(例如，参照专利文献1)。具体而言，该角速度传感器使用由压电材料构成的基板而构成，在基板上将振动体和包围振动体的外周部进行区划而形成。并且，振动体经由多个梁部被支承于外周部。

据此，通过配置在振动体(基部)与外周部之间的梁部，能够抑制从外周部向振动体传递振动、冲击等扰动，并且能够抑制检测精度降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2011-75415号公报

发明内容

但是，上述角速度传感器中，各梁部分别独立地与外周部连接。因此，根据不同的各梁部，扰动的抑制效果不同，有时不能充分抑制检测精度降低。

本申请鉴于上述点，目的是提供能够抑制检测精度降低的角速度传感器。

本申请的第一方式中，角速度传感器具备：基板，使用压电材料构成；振动体，形成于基板，具有在基板的面方向上振动的第1振动片和第2振动片；以及外周部，形成于基板，配置在振动体的周围；在使振动体振动的状态下被施加角速度时，产生与该角速度相应的电荷。

振动体经由具有第1梁构成部件和第2梁构成部件的多个梁部被支承于外周部，在将基板的面方向中的一方向设为第1方向、将基板的面方向中的与第1方向正交的方向设为第2方向时，第1梁构成部件至少能够在第1方向上位移，第2梁构成部件与第1梁构成部件连结，至少能够在第2方向上位移；多个梁部的至少一部分中，第1梁构成部件和第2梁构成部件之中的外周部侧的梁构成部件相互一体化。

据此，在梁部之中的外周部侧的梁构成部件被一体化的部分中，使位移相互耦合，因此能够进一步抑制从外周部向振动体传递扰动，并且能够抑制检测精度降低。

附图说明

关于本申请的上述目的及其他目的、特征及优点通过参照所附的附图的进行的下述的详细的记述而变得更加明确。

图1是本申请的第1实施方式中的角速度传感器的俯视图。

图2的(a)是表示图1所示的角速度传感器的工作的图，图2的(b)是表示图2的(a)所示的角速度传感器的工作的模式的图。

图3是表示一般的角速度传感器的共振倍率的频率特性(响应曲线)的图。

图4是表示第1实施方式的角速度传感器的共振倍率的频率特性(响应曲线)的图。

图5是表示与静止状态对应的同相模式和同相吸收模式的运动的示意图。

图6A是表示对图1所示的角速度传感器在y轴方向上施加了冲击时的同相模式的运动的示意图。

图6B是表示对图1所示的角速度传感器在y轴方向上施加了冲击时的同相吸收模式的运动的示意图。

图7是使Q值变化时的数式1的曲线图。