[发明专利]使用高分辨率全裸片图像数据进行检验

摘要

本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。

主权项

一种用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的计算机实施方法，其包括：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准，其中所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置；基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置；及基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置，其中对准所述数据、确定所述对准位点的所述位置及确定所述检验数据的所述位置是由计算机系统执行。