[发明专利]具有顺应性远程中心的质量转移工具操纵器组件有效
申请号: | 201580026333.4 | 申请日: | 2015-04-13 |
公开(公告)号: | CN106457555B | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | P·A·帕克斯;N·A·莱特;S·P·巴瑟斯特;J·A·希金森;A·比布尔 | 申请(专利权)人: | 苹果公司 |
主分类号: | B25J7/00 | 分类号: | B25J7/00;B25J9/00;B25J18/00 |
代理公司: | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 王茂华;吕世磊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了用于将微型器件或微型器件阵列转移到衬底或者从衬底转移微型器件或微型器件阵列的系统和方法。在一个实施方案中,远程中心机器人允许微型拾取阵列和目标衬底之间的即时对准。远程中心机器人可以包括多个对称联动装置,这些联动装置独立移动并且共享远程旋转中心。在一个实施方案中,远程旋转中心可以定位在微型拾取阵列的表面处,以防止在转移期间对微型器件阵列造成损坏。 | ||
搜索关键词: | 具有 顺应性 远程 中心 质量 转移 工具 操纵 组件 | ||
【主权项】:
1.一种远程中心机器人,包括:/n第一联动装置,所述第一联动装置具有沿第一轴线通过具有第一长度的第一连杆臂分开的第一上接合部和第一下接合部以及沿第三轴线通过第三连杆臂分开的第三上接合部和第三下接合部,其中所述第一下接合部和所述第三下接合部被耦接到第一耦接器连杆,并且所述第一上接合部和所述第一下接合部被耦接到第一接地连杆;以及/n第二联动装置,所述第二联动装置具有第二上接合部和第二下接合部,所述第二上接合部和所述第二下接合部沿第二轴线通过具有等于所述第一长度的第二长度的第二连杆臂分开,以及所述第二联动装置还具有沿第四轴线通过第四连杆臂分开的第四上接合部和第四下接合部,其中所述第二下接合部和所述第四下接合部被耦接到第二耦接器连杆,并且所述第二上接合部和所述第四上接合部被被耦接到第二接地连杆,并且其中所述第二接地连杆被固定至所述第一耦接器连杆,/n其中所述第一上接合部与所述第一下接合部在第一平面中共平面,并且其中所述第二上接合部与所述第二下接合部在与所述第一平面不同的第二平面中共平面。/n
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