[发明专利]用于在探针卡组件中提供有效顺应性的方法及装置无效

专利信息
申请号: 200780041087.5 申请日: 2007-10-31
公开(公告)号: CN101535822A 公开(公告)日: 2009-09-16
发明(设计)人: K·J·布赖恩林格 申请(专利权)人: 佛姆法克特股份有限公司
主分类号: G01R31/02 分类号: G01R31/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 探针卡组件可包括第一顺应性来源以及第二顺应性来源。探针卡组件可进一步包括控制器,其可配置成在第一顺应性来源与第二顺应性来源之间分配对探针卡组件的总的顺应性需求。
搜索关键词: 用于 探针 组件 提供 有效 顺应性 方法 装置
【主权项】:
1. 一种探针卡组件,包括:第一顺应性来源;第二顺应性来源;以及控制器,所述控制器被配置成在所述第一顺应性来源与所述第二顺应性来源之间分配对所述探针卡组件的总的顺应性需求。
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