[发明专利]固态摄像装置、其制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及一种能够进一步降低反射率的固态摄像装置、制造该固态摄像装置的方法以及电子设备。固态摄像装置设置有半导体基板和防反射结构，在半导体基板中针对多个像素中的每个像素形成有光电转换单元，防反射结构是设置在光入射面侧上且形成有不同高度的多种类型的突起的结构，光从光入射面侧入射在半导体基板上。通过执行利用不同的处理条件以多个阶段挖掘半导体基板的光入射面的处理来形成防反射结构。在防反射结构中，在预定高度的第一突起之间形成有比第一突起低的第二突起。例如，本发明可应用于CMOS图像传感器。

主权项

一种固态摄像装置，其包括：半导体基板，在所述半导体基板中针对多个像素中的每个像素形成有光电转换单元；以及防反射结构，所述防反射结构是设置在光入射面侧上且形成有不同高度的多种类型的突起的结构，光从所述光入射面侧入射在所述半导体基板上。