[发明专利]MEMS麦克风和用于防止MEMS麦克风中的漏电的方法有效
| 申请号： | 201580018069.X | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106465022B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | B.M.戴蒙德;J.M.穆萨;J.W.齐恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于防止MEMS麦克风中的漏电的系统和方法。在一个实施例中，MEMS麦克风包括半导体基板、电极、第一绝缘层和经掺杂的区。第一绝缘层被形成在电极与半导体基板之间。经掺杂的区被注入在其中半导体基板与第一绝缘层接触的半导体基板的至少一部分中。经掺杂的区还被电耦合到电极。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 中的 掺杂 基板区 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括：半导体基板；电极；第一绝缘层，所述第一绝缘层被形成在所述电极与所述半导体基板之间；以及经掺杂的区，所述经掺杂的区被注入在所述半导体基板的至少一部分中，其中，所述半导体基板与所述第一绝缘层接触，并且所述经掺杂的区被电耦合到所述电极，并且其中，第二绝缘层形成在所述半导体基板与所述经掺杂的区之间。
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