[发明专利]在三氯化硼中减少四氯化硅的方法及装置有效
| 申请号： | 201580014638.3 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106163628B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 赖瑞·瓦格;马克·W·瑞农;丹尼尔·J·丹贝尔;尧军平;亚当·J·席莫尔 | 申请（专利权）人： | 曼瑟森三汽油公司 |
| 主分类号： | B01D3/34 | 分类号： | B01D3/34;C01B33/035;C01B35/06;C01B35/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王永伟;赵蓉民 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明大致上是关于三氯化硼(BCl3)的纯化。更具体地，本发明是关于在产生三氯化硼期间最小化四氯化硅(SiCl4)形成的方法及/或通过防止/最小化反应腔室中的硅来源而移除三氯化硼产物流中的四氯化硅的方法。此外，氢化物材料可用于转变任何四氯化硅的存在成为甲硅烷，其更易于被移除。最后，结冰分离将取代分馏，以从已被部分纯化而移除初馏物的三氯化硼中移除四氯化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 氯化 减少 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英管柱反应器装置，用于形成纯化的三氯化硼，包含：石英管柱反应器，其具有内侧壁、外侧壁、顶部及底部，其中所述顶部及底部相对设置；气体入口及气体出口，其中所述气体入口穿过所述石英管柱反应器的所述顶部，所述气体出口穿过所述石英管柱反应器的所述底部；非反应性屏障，其保护所述内侧壁的表面；以及纯化床，其中所述纯化床是使用分子筛材料而形成，这些分子筛材料具有对四氯化硅的亲合力及适当的孔洞大小以排除三氯化硼分子。
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