[发明专利]三烷基镓化合物的制备以及其用途有效
申请号: | 201580013576.4 | 申请日: | 2015-03-12 |
公开(公告)号: | CN106103454B | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | W·朔恩;J·松德迈尔;A·弗赖;R·卡希;A·里瓦斯-纳斯;E·韦尔纳;A·多皮尤 | 申请(专利权)人: | 优美科股份公司及两合公司 |
主分类号: | C07F5/00 | 分类号: | C07F5/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 刘学媛 |
地址: | 德国哈瑙*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种以环境友好的方式并且以高产率和选择性廉价地制备具有通式R3Ga的三烷基镓化合物的改善的方法,其中R是具有1到4个碳原子的烷基。根据本发明,三烷基镓是通过中间阶段烷基镓二氯化物(RGaCl2)或二烷基镓氯化物/烷基镓二氯化物的混合物(R2GaCl/RGaCl2)制备的。本发明还涉及所产生的RGaCl2或R2GaCl/RGaCl2混合物。根据本发明的新颖的方法特征在于改善的实施。通过以受控的方式普遍使用具有低环境影响的廉价起始材料和试剂,该方法还适用于工业规模。所获得的三烷基镓化合物由于其高纯度作为在半导体和微型系统技术中用于金属‑有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属‑有机气相外延法(MOVPE)的金属有机前体是特别适合的。 | ||
搜索关键词: | 烷基 化合物 制备 及其 用途 | ||
【主权项】:
1.用于制备化合物(A)的方法,该化合物(A)或者具有通式RGaCl2或者是RGaCl2与R2GaCl的一种混合物,该方法包括以下反应步骤a1)使镓与一种烷基供体在一种活化剂存在下反应以形成化合物(A),其中不要求使用氢气作为反应促进剂,并且反应在100℃至160℃的范围进行,a2)并且任选地从该反应混合物中分离出所述化合物(A),其中R是具有1至4个碳原子的支链或无支链的烷基。
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