[发明专利]基板传送装置用升降装置以及基板传送装置

摘要

本发明涉及一种基板传送装置用升降装置以及基板传送装置。所述基板传送装置用升降装置包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。

主权项

1.一种基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括：升降单元，使传送臂升降，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降；第一支持部，所述第一支持部支撑所述第一升降导块；以及第二支持部，所述第二支持部支撑所述第二升降导块，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置，所述第一支持部包括支撑所述第一升降导块的不同的面的第一底座部件和第一支持部件，所述第二支持部包括支撑所述第二升降导块的不同的面的第二底座部件和第二支持部件。