[发明专利]具有分开的、电绝缘的活动结构的微机械组件以及用于运作这种组件的方法有效
| 申请号： | 201580010228.1 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN106061889B | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 冈特·斯帕林格 | 申请（专利权）人： | 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,张会华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械的组件，该组件包括基板和活动结构，该活动结构能够相对于基板而言至少以一个方向偏移并且具有至少一个第一区域和第二区域，其中所述第一区域和所述第二区域能够导电并且沿着第一轴物理刚性地彼此连接并且通过绝缘区域相互电绝缘。根据一种用于运作该组件的方法在第一区域和第二区域上施加不同的电势，其中能够探测通过活动结构的移动而产生的电荷或电容变化。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分开 绝缘 活动 结构 微机 组件 以及 用于 运作 这种 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械的组件(1)，包括：基板(11、15)和活动结构(20)，所述活动结构能够相对于基板(11、15)至少沿一个方向偏移并且具有至少一个第一区域(22)和第二区域(23)，其中所述第一区域(22)和所述第二区域(23)能够导电并且沿着第一轴(x)物理刚性地彼此连接并且通过绝缘区域(24)相互电绝缘，第一电极(221)，所述第一电极从所述第一区域(22)出发以第一方向沿着第二轴(y)延伸；以及第二电极(222)，所述第二电极从所述第一区域(22)出发以第二方向沿着所述第二轴(y)延伸，其中所述第二轴(y)垂直于所述第一轴(x)并且其中所述第二方向相反于所述第一方向；以及第三电极(231)，所述第三电极从所述第二区域(23)出发以所述第一方向沿着所述第二轴(y)延伸；和第四电极(232)，所述第四电极从所述第二区域(23)出发以所述第二方向沿着所述第二轴(y)延伸。
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