[发明专利]具有分开的、电绝缘的活动结构的微机械组件以及用于运作这种组件的方法

权利要求书

1.一种微机械的组件(1)，包括：

基板(11、15)和

活动结构(20)，所述活动结构能够相对于基板(11、15)至少沿一个方向偏移并且具有至少一个第一区域(22)和第二区域(23)，其中所述第一区域(22)和所述第二区域(23)能够导电并且沿着第一轴(x)物理刚性地彼此连接并且通过绝缘区域(24)相互电绝缘，

第一电极(221)，所述第一电极从所述第一区域(22)出发以第一方向沿着第二轴(y)延伸；以及第二电极(222)，所述第二电极从所述第一区域(22)出发以第二方向沿着所述第二轴(y)延伸，其中所述第二轴(y)垂直于所述第一轴(x)并且其中所述第二方向相反于所述第一方向；以及

第三电极(231)，所述第三电极从所述第二区域(23)出发以所述第一方向沿着所述第二轴(y)延伸；和第四电极(232)，所述第四电极从所述第二区域(23)出发以所述第二方向沿着所述第二轴(y)延伸。

2.根据权利要求1所述的组件，进一步包括：

第五电极(41)，所述第五电极与所述基板(11、15)固定连接并且从所述基板(11、15)出发以所述第二方向沿着所述第二轴(y)延伸并且设置在所述第一电极(221)和所述第三电极(231)之间。

3.根据权利要求2所述的组件，

其特征在于，

所述第五电极(41)与电荷放大器(60)连接。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的组件，组件进一步包括：

第六电极(51)，所述第六电极与所述基板(11、15)固定连接并且从所述基板(11、15)出发以所述第一方向沿着所述第二轴(y)延伸并且设置在所述第二电极(222)和所述第四电极(232)之间。

5.根据权利要求4所述的组件，进一步包括：

第七电极(52)和

第八电极(53)，

其中所述第七电极(52)和所述第八电极(53)与所述基板(11、15)固定连接并且从所述基板(11、15)出发以所述第一方向沿着所述第二轴(y)延伸，并且

所述第七电极(52)和所述第八电极(53)这样设置，使得所述第二电极(222)设置在所述第六电极(51)与所述第七电极(52)之间，并且使得所述第四电极(232)设置在所述第六电极(51)与所述第八电极(53)之间。

6.根据权利要求5所述的组件，

其特征在于，

所述组件包括控制单元(80)，所述控制单元与所述第六电极(51)、所述第七电极(52)和所述第八电极(53)连接并且所述控制单元适合于，从施加在所述第一区域(22)上的第一电压(U₀)、预设的复位力(F)和预设的弹簧常数(K)计算出用于控制在所述第六电极(51)上施加的第二电压(U₁)的信号和用于控制在所述第七电极(52)和所述第八电极(53)上施加的第三电压(U₂)的信号。

7.根据权利要求5所述的组件，

其特征在于，

第一个第六电极(511)和第二个第六电极(512)设置在所述第二电极(222)和所述第四电极(232)之间，

其中所述第二电极(222)设置在所述第一个第六电极(511)和所述第七电极(52)之间并且所述第四电极(232)设置在所述第二个第六电极(512)与所述第八电极(53)之间。

8.根据权利要求2或3所述的组件，

其特征在于，

第一个第五电极(411)和第二个第五电极(412)设置在所述第一电极(221)和所述第三电极(231)之间，

所述组件另外包括第九电极(42)和第十电极(43)，其中所述第九电极(42)和所述第十电极(43)与所述基板(11、15)固定连接并且从所述基板(11、15)出发以所述第二方向沿着所述第二轴(y)延伸并且这样设置，使得所述第一电极(221)设置在所述第一个第五电极(411)和所述第九电极(42)之间并且所述第三电极(231)设置在所述第二个第五电极(412)与所述第十电极(43)之间。