[发明专利]研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨装置及浆料

摘要

本发明是以湿式研磨法研磨被研磨材。浆料是将研磨用磨粒分散于纯水中而成。研磨用磨粒是使发挥机械化学作用的成分、或对研磨被研磨材时产生的摩擦热起反应的成分等以全体一体化成粒子状。各成分是分别保持各成分的物质固有的性质的状态，通过机械合金化处理而相互直接结合而成。蓝宝石或碳化硅或氮化镓等摩擦工序中使用该浆料时，可比过去大幅缩短研磨时间，可大幅改善加工成本。研磨面为高质量。研磨用磨粒可重复使用于研磨处理。由于浆料的pH为3～9左右，所以不会对研磨作业场环境造成影响，废液的处理也简单。

主权项

一种复合磨粒，用于对蓝宝石进行湿式研磨，其特征在于：将莫氏硬度为7以上9以下的粒子状的第一研磨剂，对所述被研磨材具有机械化学作用的粒子状的第二研磨剂，以及对浆料所使用的纯水为难溶性且由碱金属盐或碱土类金属盐构成的粒子状的摩擦热反应剂的混合物，通过机械合金化直接结合从而一体化成粒状，其中，所述第一研磨剂为Al2O3、ZrSiO4或ZrO2，所述第二研磨剂是选自Cr2O3、Fe2O3、SiO2的群中的一种或两种以上的材料,所述摩擦热反应剂是选自CaCO3、SrCO3、MgCO3、BaCO3、Li2CO3、Ca3(PO4)2、Li3PO4以及AlK(SO4)2的群中的一种或两种以上的材料，并且占所述经一体化粒子的5重量百分比以上95重量百分比以下。