[发明专利]用于电子装置封装的设备和技术

摘要

一种用于制造发光装置（例如，有机发光二极管（OLED）装置）的设备和技术能够包括使用具有受控环境的一个或更多个模块。所述受控环境能够维持在大约处于气氛压力下或高于气氛压力的压力下。所述模块能够布置成提供各种处理区域以及促进打印或以其它方式沉积OLED装置的一个或更多个图案化有机层（例如，OLED装置的有机封装层（OEL）。在示例中，能够至少部分地使用气垫来为衬底提供均匀的机械支撑（例如，在包括OEL制造工艺的打印、固持或固化操作中的一个或更多个期间）。在另外的示例中，能够使用分布式真空区域（例如，由多孔介质提供）来为衬底提供均匀的机械支撑。

主权项

一种用于在衬底上提供涂层的涂层系统，所述系统包括：封闭的喷墨打印系统，其配置来将图案化有机材料沉积于在发光装置的至少一部分上方的沉积区域中，所述发光装置制造于所述衬底上；封闭的固化模块，其包括卡盘，所述卡盘配置来将所述衬底容纳在所述封闭的固化模块的紫外线处理区域中，所述紫外线处理区域配置成提供紫外线处理以固化所述图案化有机材料；以及封闭的衬底转移模块，其配置成从不同于所述封闭的喷墨打印系统或所述封闭的固化模块中的一个或更多个的环境的环境接收所述衬底；其中，所述卡盘配置来分布足够的加压气垫以使所述衬底漂浮在所述卡盘上方。