[实用新型]一种石墨框承载装置有效
| 申请号： | 201521134384.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205275698U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张春华;陈佳男;衡阳;郑旭然;李栋;孟祥熙 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/458;H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨框承载装置，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载条，构成复数个石墨框网格，在位于石墨框本体中央的横竖交错的承载条中，至少有3条相互垂直的承载条的宽度为12～16mm，其余承载条的宽度为6～8mm。本实用新型具有结构稳固、不易变形的特点，且在PECVD镀膜中不易产生色差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种石墨框承载装置，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载条，构成复数个石墨框网格，其特征在于：在位于石墨框本体中央的横竖交错的承载条中，至少有3条相互垂直的承载条的宽度为12～16mm，其余承载条的宽度为6～8mm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
