[实用新型]一种石墨框承载装置有效
| 申请号： | 201521134384.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205275698U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张春华;陈佳男;衡阳;郑旭然;李栋;孟祥熙 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/458;H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 承载 装置 | ||
1.一种石墨框承载装置，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载 条，构成复数个石墨框网格，其特征在于：在位于石墨框本体中央的横竖交错的承载条中， 至少有3条相互垂直的承载条的宽度为12～16mm，其余承载条的宽度为6～8mm。
2.根据权利要求1所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述石墨框本体的长度为1691 ～1760mm；
所述石墨框本体的左右两侧各设置有两个对称分布的U型定位孔。
3.根据权利要求2所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述U型定位孔由长方形和半 圆形通孔组成，长方形通孔的长度为1～70mm，宽度为5～8mm；半圆形通孔的直径为5～8mm， 且半圆形通孔的直径与长方形通孔的宽度相等。
4.根据权利要求3所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述长方形通孔的长度为 60mm，宽度为7mm；半圆形通孔的直径为7mm。
5.根据权利要求1所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述石墨框网格为具有倒角的 正方形孔。
6.根据权利要求5所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述正方形孔的宽度为126～ 126.9mm。
7.根据权利要求6所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述正方形孔的宽度为 126.7mm。
8.根据权利要求2所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述石墨框本体的长度为 1750mm。
9.根据权利要求1所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述承载条上设有用于支撑硅 片的挂钩。
10.根据权利要求1所述的石墨框承载装置，其特征在于：所述石墨框本体上分布有6× 12个石墨网格。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
