[实用新型]碱槽风刀的清洗管路结构有效
| 申请号： | 201521127132.7 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205542719U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张小刚;丁超;童锐;杨大谊 | 申请（专利权）人： | 太极能源科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 叶绮玲 |
| 地址： | 215333 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种碱槽风刀的清洗管路结构，包括三通管件，所述三通管件的三个接口分别与进气管路、进水管路、碱槽风刀接通，所述进水管路上设有第一截止阀，所述进气管路上设有第二截止阀。本实用新型结构简单，便于快速方便的对管路进行清洗疏通。在不影响生产进度的情况下，对碱槽风刀堵塞进行处理与预防，保证产能与产出的良率，具备高度产业利用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 碱槽风刀 清洗 管路 结构 | ||
【主权项】：
一种碱槽风刀的清洗管路结构，其特征在于，包括三通管件，所述三通管件的三个接口分别与进气管路、进水管路、碱槽风刀接通，所述进水管路上设有第一截止阀，所述进气管路上设有第二截止阀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
