[实用新型]一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片有效
申请号: | 201520978786.4 | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN205282498U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 易翰翔;郝锐;刘洋;许徳裕 | 申请(专利权)人: | 广东德力光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 冯剑明 |
地址: | 529030 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片,包括衬底,所述衬底上依次设置有N型半导体层、发光层和P型半导体层,形成LED晶圆,所述N型半导体层和P型半导体层上分别设置有金属电极,LED晶圆外通过光刻工艺设置有透明绝缘的光阻层。本实用新型的LED发光芯片采用透明绝缘的光阻层直接覆盖LED晶圆,光阻层取代钝化层起保护作用,简化LED芯片的结构;由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 光刻 保护层 led 发光 芯片 | ||
【主权项】:
一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片,包括衬底(10),所述衬底(10)上依次设置有N型半导体层(20)、发光层(30)和P型半导体层(40),形成LED晶圆,所述N型半导体层(20)和P型半导体层(40)上分别设置有金属电极(51;52),其特征在于:还包括通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在LED晶圆外形成的光阻层(60)。
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