[实用新型]一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片有效
申请号: | 201520978786.4 | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN205282498U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 易翰翔;郝锐;刘洋;许徳裕 | 申请(专利权)人: | 广东德力光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 冯剑明 |
地址: | 529030 *** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 光刻 保护层 led 发光 芯片 | ||
技术领域
本实用新型涉及LED领域,具体涉及一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片。
背景技术
LED发光芯片具有体积小、能耗低、寿命长以及环保等优点,广泛应用于照明领域。LED芯片的主体是一个发光PN结,主要由N型半导体、发光层和P型半导体组成,所述N型半导体和P型半导体上分别设置有金属电极。现有的LED芯片一般在发光PN结外覆盖一层钝化层(SiO2层),起保护作用,光阻层(由光刻胶形成)设置在钝化层外。由于现有的LED芯片在制作过程中需要分别添加钝化层和光阻层,之后还需对金属电极上方的光阻层和钝化层分别进行蚀刻,使金属电极外露,工序繁琐,制作麻烦,增加成本;此外,由于SiO2是硬性材料,抗冲击、抗压的能力较差,钝化层不能很好起到保护作用。
实用新型内容
为克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片,利用软性材料的光刻胶取代钝化层对LED芯片的主体进行保护,简化芯片结构。
本实用新型为解决其技术问题采用的技术方案是:
一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片,包括衬底,所述衬底上依次设置有N型半导体层、发光层和P型半导体层,形成LED晶圆,所述N型半导体层和P型半导体层上分别设置有金属电极,还包括通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在LED晶圆外形成的光阻层。
作为上述技术方案的进一步改进,所述光阻层上设置有使金属电极外露的缺口。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型采用透明绝缘的光阻层直接覆盖LED晶圆,光阻层取代钝化层起保护作用,简化LED芯片的结构;由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。
附图说明
以下结合附图和实例作进一步说明。
图1是本实用新型的一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片的结构示意图。
具体实施方式
参照图1,本发明提供的一种采用光刻胶作保护层的正装LED发光芯片,包括衬底10,衬底10上由下向上依次设置有N型半导体层20、发光层30和P型半导体层40,形成LED晶圆,其中N型半导体层20上设置有与电源负极连接的金属电极52,P型半导体层40上设置有与电源正极连接的金属电极51。LED晶圆外直接覆盖有透明绝缘的光阻层60,光阻层60上对应两个金属电极51、52分别设置有使金属电极51、52外露的缺口。
本发明还提供了一种制作上述采用光刻胶作保护层的LED发光芯片的方法,包括以下步骤:首先,准备一衬底10,在衬底10上方设置N型半导体层20,在N型半导体层20上方设置发光层30,且N型半导体层20部分暴露在发光层30外,在发光层30上设置P型半导体层40,得到LED晶圆;在N型半导体层20的暴露区上设置金属电极52,在P型半导体层40上设置金属电极51;通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在LED晶圆外,形成光阻层60;采用显影液蚀刻掉金属电极51、52上方的光阻层60,使金属电极51、52从光阻层60的缺口中外露。
此外,本发明还提供了另一种制作上述采用光刻胶作保护层的LED发光芯片的方法,可起到相同的效果,该方法包括以下步骤:首先,准备一衬底10,依次在衬底10上制作N型半导体层20、发光层30和P型半导体层40,N型半导体层20部分暴露在发光层30外,形成LED晶圆;通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在LED晶圆外,形成光阻层60;采用显影液把N型半导体层20的暴露区和P型半导体层40上需要制作电极的区域的光阻层60蚀刻掉;在外露的N型半导体层20上设置金属电极52,并在外露的P型半导体层40上设置金属电极51。
本发明的LED发光芯片采用透明绝缘的光阻层60直接覆盖LED晶圆,光阻层60取代钝化层起保护作用,简化LED芯片的结构;由于光阻层60是采用软性的光刻胶制作而成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,能更好的起到保护作用;光阻层60取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。
以上所述,只是本发明的较佳实施例而已,本发明并不局限于上述实施方式,只要其以相同的手段达到本发明的技术效果,都应属于本发明的保护范围。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东德力光电有限公司,未经广东德力光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520978786.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。