[实用新型]用于物理气相沉积薄膜厚度分布控制的修正挡板有效
| 申请号： | 201520974591.2 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN205241781U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 方明;王英剑;刘斌;赵浩 | 申请（专利权）人： | 合波光电通信科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于物理气相沉积薄膜厚度分布控制的修正挡板，所述的修正挡板为一对，采用蝴蝶翅膀形弯折的结构，固定在物理气相沉积设备的特定位置，修正板分别只对一个蒸发源在镀膜面上具有阴影效应，使得两个蒸发源可以被独立的控制，且无机械运动部件，可以在复合薄膜沉积过程中实现两种或多种材料无耦合地控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 薄膜 厚度 分布 控制 修正 挡板 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积薄膜厚度分布控制的修正挡板，其特征在于，所述的修正挡板为一对，采用蝴蝶翅膀形弯折的结构，固定在物理气相沉积设备的特定位置，修正板分别只对一个蒸发源在镀膜面上具有阴影效应，使得两个蒸发源可以被独立的控制。
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