[实用新型]用于物理气相沉积薄膜厚度分布控制的修正挡板有效
| 申请号： | 201520974591.2 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN205241781U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 方明;王英剑;刘斌;赵浩 | 申请（专利权）人： | 合波光电通信科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 薄膜 厚度 分布 控制 修正 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于物理气相沉积薄膜厚度分布控制的修正挡板，其特征在于，所述的修正挡 板为一对，采用蝴蝶翅膀形弯折的结构，固定在物理气相沉积设备的特定位置，修正板分别 只对一个蒸发源在镀膜面上具有阴影效应，使得两个蒸发源可以被独立的控制。
2.根据权利要求1所述的修正挡板，其特征在于，所述镀膜面所依附的镀膜夹具的运动 模式包括单轴、多轴和一维线性运动。
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