[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201520890561.3 | 申请日: | 2015-11-09 |
公开(公告)号: | CN205123999U | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 蔡孟锦;宋青林;杨丽萍;郑成龙 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 袁文婷;陈英俊 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供一种MEMS麦克风,包括由外壳和线路板组成的封装结构,在封装结构内设置有MEMS芯片,MEMS芯片包括基底和设置在基底上的电容器,MEMS芯片通过基底与线路板固定;其中,在基底上设置有第一溶胶槽;或者,在基底上设置有第一溶胶槽,并且在线路板与基底相固定的位置设置有第二溶胶槽。上述本实用新型,能够解决线路板与MEMS芯片之间的液态胶体“溢胶”或者“爬胶”的问题,从而避免影响MEMS麦克风的性能。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
【主权项】:
一种MEMS麦克风,包括由外壳和线路板组成的封装结构,在所述封装结构内部设置有MEMS芯片,所述MEMS芯片包括基底和设置在所述基底上的电容器,所述MEMS芯片通过所述基底与所述线路板固定;其特征在于,在所述基底上设置有第一溶胶槽;或者,在所述基底上设置有第一溶胶槽,并且在所述线路板与所述基底相固定的位置设置有第二溶胶槽。
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