[实用新型]一种宽频压电式MEMS振动能量采集器

摘要

本实用新型提出了一种宽频响应的压电式MEMS振动能量采集器，通过将环境中的振动能转换为电能，利用压电材料的正压电效应实现机械能向电能的转换。采用易与环境产生共振的悬臂梁-质量块结构作为基础芯片，利用多基础芯片阵列集成来提高能量采集器件的总输出电能，利用各基础芯片不同的结构参数来拓宽频带范围，以应用于多种振动环境。本实用新型提出的能量采集装置具有宽频响应能力，拓宽了工作响应频段，多基础芯片集成具有高的输出能量，通过该装置对环境振动能量进行收集，具备自供电、稳定、可持续等优势，有望解决无线传感网络等应用系统的自供电问题。

主权项

一种宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在于：包括外围基底以及若干集成在所述外围基底上串联输出、谐振频率接近的基础芯片，所述基础芯片包括框架、一端分别与所述框架内表面连接的若干悬臂梁、以及由各所述悬臂梁另一端支撑的质量块，各所述悬臂梁均包括两相串联的压电振子。