[实用新型]一种宽频压电式MEMS振动能量采集器有效
| 申请号： | 201520858032.5 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN205142048U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈婷婷 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 宽频 压电 mems 振动 能量 采集 | ||
【权利要求书】：
1.一种宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在于：包括外围基底 以及若干集成在所述外围基底上串联输出、谐振频率接近的基础芯片，所述基 础芯片包括框架、一端分别与所述框架内表面连接的若干悬臂梁、以及由各所 述悬臂梁另一端支撑的质量块，各所述悬臂梁均包括两相串联的压电振子。
2.根据权利要求1所述的宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在 于：所述悬臂梁包括压电层、覆盖在所述压电层上表面且断开的上电极层、以 及覆盖在所述压电层下表面的下电极层以构成两相串联的所述压电振子。
3.根据权利要求2所述的宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在 于：所述框架内表面至少连接有四个均匀分布的所述悬臂梁。
4.根据权利要求2所述的宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在 于：所述外围基底上设有若干外接引线键合焊盘，所述上电极层与所述下电极 层与所述外接引线键合焊盘之间均连接有引线。
5.根据权利要求2所述的宽频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在 于：所述压电层为PZT压电薄膜。
6.根据权利要求1-5任一项所述的宽频压电式MEMS振动能量采集器， 其特征在于：所述外围基底上集成有四个阵列分布的所述基础芯片。
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