[实用新型]具有柔性导通结构的MEMS装置有效
| 申请号： | 201520764616.6 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204948350U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 孙德波;董南京 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 唐丽;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有柔性导通结构的MEMS装置，包括：本实用新型提供了一种具有柔性导通结构的MEMS装置，包括：封装结构，所述封装结构包括线路板以及形成侧壁的中空腔体和底板；所述封装结构内部设有MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和ASIC芯片设置在所述底板上，所述ASIC芯片和/或所述MEMS芯片通过柔性导通结构与所述线路板的焊盘电连接。本实用新型提供了全新的MEMS装置导通方案。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 柔性 结构 mems 装置 | ||
【主权项】：
一种具有柔性导通结构的MEMS装置，其特征在于，包括：封装结构，所述封装结构包括线路板(100)以及形成侧壁的中空腔体和底板；所述封装结构内部设有MEMS芯片(1)和ASIC芯片(2)，所述MEMS芯片(1)和ASIC芯片(2)设置在所述底板上；所述ASIC芯片(2)和/或所述MEMS芯片(1)通过柔性导通结构与所述线路板(100)的焊盘电连接。
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