[实用新型]一种电容式压力传感器有效
| 申请号： | 201520697099.5 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN205102961U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 余辉洋 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 211800 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电容式压力传感器，包括形成有压力腔的衬底硅片，在所述衬底硅片上方叠置有多个电容器，其中中间电容器的上电极为上面电容器的下电极，中间电容器的下电极为下面电容器的上电极，所述多个电容器的电容介质互不相同。本实用新型的压力传感器利用介电应变效应，将感压膜设计成由多层材料构成的电容结构，并采用不同的材料作为电容的绝缘介质，利用不同材料的温度效应不同进行电容式压力传感器的温度补偿的结构设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式压力传感器，包括形成有压力腔的衬底硅片(5)，在所述衬底硅片(5)上方叠置有多个电容器，其中中间电容器的上电极为上面电容器的下电极，中间电容器的下电极为下面电容器的上电极，所述多个电容器的电容介质互不相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京工业大学，未经南京工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520697099.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：鸟撞试验装置
- 下一篇：一种具有切换水路的量热仪
