[实用新型]一种芯片转移装置

摘要

本实用新型涉及一种芯片生产装置，具体涉及一种芯片转移装置，包括底板，所述底板上设置有侧壁，所述侧壁与底板组成一端开口的器具，该器具至少有一相对应的侧壁之间的距离大于芯片晶圆直径，使得该器具能放入多个芯片晶圆，所述侧壁内侧刻有多个与芯片晶圆厚度相适配的凹槽，所述凹槽的槽向与底板垂直。该装置可使放入的多个芯片晶圆可相互独立地存放，待装满后再将多个芯片晶圆转移到氮气柜中存放，大大提高工作效率、降低作业人员劳动强度；由于各个芯片晶圆是相互独立地存放在该转移装置中的，可很好地区分不同型号的芯片晶圆，不易混料。

主权项

 一种芯片转移装置，其特征在于，包括底板，所述底板上设置有侧壁，所述侧壁与底板组成一端开口的器具，该器具至少有一相对应的侧壁之间的距离大于芯片晶圆直径，使得该器具能放入多个芯片晶圆，所述侧壁内侧刻有多个与芯片晶圆厚度相适配的凹槽，所述凹槽的槽向与底板垂直。