[实用新型]一种用于扩散炉/PECVD设备的侧向传输机构有效
| 申请号： | 201520640016.9 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN204959034U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 田净;肖岳南;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扩散炉/PECVD设备的侧向传输机构，包括具有两条平行轨道的支撑主体（1）、设在支撑主体一端的主动轴（2）和设置在支撑主体另一端的从动轴（3）、分别安装在主动轴和从动轴两端的带轮（4）、两条分别绕在带轮上构成双环状的同步带（5）、放置在所述同步带上的滑块（6），与所述主动轴连接的控制装置（8）和伺服电机（9），滑块随同步带做往复移动。本实用新型通过模块化设计解决了无缝对接的技术问题，而且组装、维修简易，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 pecvd 设备 侧向 传输 机构 | ||
【主权项】：
一种用于扩散炉/PECVD设备的侧向传输机构，其特征在于：所述同步带传输机构包括具有两条平行轨道的支撑主体（1）、设在支撑主体一端的主动轴（2）和设置在支撑主体另一端的从动轴（3）、分别安装在主动轴和从动轴两端的带轮（4）、两条分别绕在带轮上构成双环状的同步带（5）、放置在所述同步带上的滑块（6），与所述主动轴连接的控制装置（8）和伺服电机（9），滑块随同步带做往复移动。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
