[实用新型]一种硅芯炉有效
| 申请号： | 201520543266.0 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204918845U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;刘和松;郁叙法;张礼铭;郭大伟 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司;江阴东升新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到硅芯设备的技术领域，公开了一种硅芯炉。该硅芯炉包括炉体，以及设置在所述炉体内的长晶托盘，设置在长晶托盘上并用于盛放原料多晶硅料的条形坩埚，以及用于熔化所述原料多晶硅料的加热装置，且所述托盘内设置有冷却气体通道，还包括与所述冷却气体通道连通的氩气冷却系统。在上述技术方案中，硅芯炉采用定向凝固法形成硅锭，并在具体的冷却过程中，通过采用氩气冷却系统对熔化的原生多晶硅料进行冷却，形成较大的温度梯度差，从而提高了长晶的效率。提高了硅锭的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅芯炉 | ||
【主权项】：
一种硅芯炉，其特征在于，包括炉体，以及设置在所述炉体内的长晶托盘，设置在长晶托盘上并用于盛放原料多晶硅料的条形坩埚，以及用于熔化所述原料多晶硅料的加热装置，且所述托盘内设置有冷却气体通道，还包括与所述冷却气体通道连通的氩气冷却系统。
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