[实用新型]一种齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件

摘要

本实用新型公开了一种齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件，其包括P型衬底以及在P型衬底上依次设置有相互隔离的齐纳二极管、第一N型阱、第二N型阱、第三N型阱；所述的齐纳二极管上设有第一N+有源注入区，所述的第一N型阱上设有第二N+有源注入区，所述的第二N型阱上设有第三N+有源注入区，所述的第三N型阱上设有第四N+有源注入区，各个N+有源注入区之间分别设有SP有源注入区，且各个N+有源注入区与各个SP有源注入区之间相互隔离；其中，所述的第一N型阱上设置有多个第二SP有源注入区，且各个第二SP有源注入区之间设有阳极短路点；从而提高ESD保护器件的维持电流，提高器件的工作可靠性和鲁棒性，减小了器件的面积和寄生电容，实用性更强。

主权项

一种齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件，其特征在于，其包括P型衬底（1）以及在P型衬底（1）上依次设置有相互隔离的齐纳二极管（Z）、第一N型阱（2a）、第二N型阱（2b）、第三N型阱（2c）；所述的齐纳二极管（Z）上设有第一N+有源注入区（5a），所述的第一N型阱（2a）上设有第二N+有源注入区（5b），所述的第二N型阱（2b）上设有第三N+有源注入区（5c），所述的第三N型阱（2c）上设有第四N+有源注入区（5d），各个N+有源注入区（5a、5b、5c、5d）之间分别设有SP有源注入区（6a、6b、6c、6d），且各个N+有源注入区与各个SP有源注入区之间相互隔离；其中，所述的第一N型阱（2a）上设置有多个第二SP有源注入区（6b），且各个第二SP有源注入区（6b）之间设有阳极短路点（3b）。