[实用新型]一种MEMS三轴加速度计

摘要

本实用新型公开了MEMS三轴加速度计，包括基板和悬置于基板上方的扭动质量块；扭动质量块为中心对称结构，包括主质量块和第一、第二次质量块，以及平行于y轴的四条弹性连接梁；第一次质量块的左侧/右侧边缘通过第一弹性连接梁和主质量块连接，第二次质量块的右侧/左侧边缘通过第二弹性连接梁和主质量块连接；第一次质量块的中心通过第三弹性连接梁连接在基板的第一锚点上，第二次质量块的中心通过第四弹性连接梁连接在基板的第二锚点上；第一、第二次质量块设有第一、第二、第三可动电极，基板上设置有与第一、第二、第三可动电极组成x轴、y轴、z轴检测电容的第一、第二、第三固定电极。本实用新型能够消除外界干扰，并且制造工艺过程简单易实现。

主权项

一种MEMS三轴加速度计，其特征在于，包括：基板；悬置于基板上方的扭动质量块；所述扭动质量块所在平面为xy平面，其中x轴的正向指向xy平面的右侧，y轴的正向指向xy平面的上侧；所述扭动质量块为中心对称结构，包括主质量块(300)、位于主质量块(300)左侧的第一次质量块(100)、位于主质量块(300)右侧的第二次质量块(200)，以及平行于y轴的第一、第二、第三、第四弹性连接梁(301、302、303、304)；所述第一次质量块(100)的左侧/右侧边缘通过第一弹性连接梁(301)和主质量块(300)连接，并且所述第二次质量块(200)的右侧/左侧边缘通过第二弹性连接梁(302)和主质量块(300)连接；所述第一次质量块(100)的中心通过第三弹性连接梁(303)连接在基板的第一锚点(501)上，所述第二次质量块(200)的中心通过第四弹性连接梁(304)连接在基板的第二锚点(502)上；所述第一、第二次质量块(100、200)上均分别设置有第一可动电极、第二可动电极、以及第三可动电极；所述基板上设置有用于与第一可动电极、第二可动电极、第三可动电极分别组成x轴检测电容、y轴检测电容、z轴检测电容的第一固定电极、第二固定电极、第三固定电极。