[实用新型]一种全息制作平面闪耀光栅的装置有效

专利信息
申请号: 201520371123.6 申请日: 2015-06-02
公开(公告)号: CN204666854U 公开(公告)日: 2015-09-23
发明(设计)人: 邹文龙;吴建宏;许立雄;王健 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 陶海锋
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种制作平面闪耀光栅的装置,包括溶解装置、高速旋转涂布机、真空烘箱、全息光刻装置和倾斜照明装置。该新装置的核心功能:利用偏振器件产生左旋圆偏振光(LCP)和右旋圆偏振光(RCP),然后将两束光产生干涉,在偶氮化合物上产生正弦型表面起伏光栅;再用起偏器将激发光调制成偏振方向垂直于光栅线条的单束线偏振光倾斜照射上述产生的正弦光栅。通过控制光照时间和激光照射能量可以精确控制光栅形变量,从而精确控制闪耀光栅的闪耀角。
搜索关键词: 一种 全息 制作 平面 闪耀 光栅 装置
【主权项】:
一种全息制作平面闪耀光栅的装置,包括涂布偶氮化合物薄膜的旋转涂布机,偶氮化合物薄膜退火的真空烘箱,其特征在于还包括以下两个装置:(1)全息光刻装置,包括激光器、半波片、格兰棱镜、四分之一波片、反射镜,激光器产生的激光经过用以调节激光偏振态的半波片,经过格兰棱镜分成两束光,一束光通过四分之一波片后变成左旋圆偏振光,另一束光通过四分之一波片后变成右旋圆偏振光,偶氮化合物薄膜放置于左旋圆偏振光与右旋圆偏振光发生干涉之处;(2)倾斜照明装置,包括激光器、起偏器,激光器产生的激光经过起偏器将激光的偏振方向调制成垂直于光栅线条,倾斜照明上述形成的正弦型光栅。
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