[实用新型]一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置有效
| 申请号： | 201520237864.5 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN204676153U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张军;莫德云;邵乐喜;廖峻;何伟坚;彭晓霞 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | C23C18/14 | 分类号： | C23C18/14;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张月光;林伟斌 |
| 地址： | 524048 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，该装置是基于脉冲光化学的方法设计得到，包括源溶液供应装置、溶液混合装置、光化学反应装置和脉冲紫外光光源系统，所述脉冲紫外光光源系统位于光化学反应装置的上端；将沉积薄膜所需的溶液在溶液混合装置里进行混合，混合溶液进入光化学反应装置，脉冲紫外光的照射下即可在衬底上沉积铜锌锡硫薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫 薄膜 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，其特征在于，包括源溶液供应装置（1）、溶液混合装置（3）、光化学反应装置（4）和脉冲紫外光光源系统（7），所述脉冲紫外光光源系统（7）位于光化学反应装置（4）的上端。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
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