[实用新型]一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置有效
| 申请号： | 201520237864.5 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN204676153U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张军;莫德云;邵乐喜;廖峻;何伟坚;彭晓霞 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | C23C18/14 | 分类号： | C23C18/14;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张月光;林伟斌 |
| 地址： | 524048 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫 薄膜 沉积 装置 | ||
1.一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，其特征在于，包括源溶液供应装置（1）、溶液混合装置（3）、光化学反应装置（4）和脉冲紫外光光源系统（7），所述脉冲紫外光光源系统（7）位于光化学反应装置（4）的上端。
2. 根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述源溶液供应装置（1）设有盛放源溶液的相互独立的容器（111，112，113，114，115，116）。
3. 根据权利要求2所述的沉积装置，其特征在于，所述源溶液供应装置（1）、与溶液混合装置（3）之间、溶液混合装置（3）与光化学反应装置（4）之间分别设有蠕动泵（2）和蠕动泵（6）。
4. 根据权利要求3所述的沉积装置，其特征在于，所述光化学反应装置（4）外设有使光化学反应装置（4）中的溶液返回至溶液混合装置（3）的液体回流装置。
5. 根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述溶液混合装置（3）还设有pH传感器（32）和温度传感器（33）。
6. 根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述脉冲紫外光光源系统（7）包括低压汞灯组（71）和脉冲紫外光控制系统（72）。
7. 根据权利要求1至6任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述光化学反应装置（4）中设有支架（8）。
8. 根据权利要求1至6任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述溶液混合装置（3）内设有搅拌装置（31）。
9. 根据权利要求1至6任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述光化学反应装置（4）包括底壁和侧壁，所述侧壁的上端设有挡板（10）。
10. 根据权利要求9所述的沉积装置，其特征在于，所述挡板（10）与侧壁上端铰接。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
