[实用新型]一种硅片亮边修磨装置

摘要

一种硅片亮边修磨装置，其包括底板、连杆，所述的底板的工作面上设有减速电机，所述的减速电机的主轴上配装有转盘；与转盘相平行的在底板的工作面上设有导轨，所述的导轨上配装有滑台；转盘与连杆的一端相偏心铰接，连杆的另一端连接到滑台，所述的滑台的工作面上贴合并连接有砂纸，于滑台旁在底板上设有支架腿，在滑台上方平行设有与支架腿相垂直固连的硅片夹，所述的硅片夹上开有多个刚好可以容纳硅片的硅片插口，每个硅片插口处皆至少设有一个橡皮筋，相对于砂带磨削方式，采用砂纸贴附在工作台面上，可显著提高砂纸运行时的平面度，保障硅片边缘的直线度，砂纸成本低廉，且便于控制磨削力度，经济实用，能方便安全并高效修复硅片。

主权项

一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：包括底板(1)、连杆(4)，所述的底板(1)的工作面上设有减速电机(2)，所述的减速电机(2)的主轴上配装有转盘(3)；与转盘(3)相平行的在底板(1)的工作面上还设有导轨(10)，所述的导轨(10)上配装有滑台(59)；连杆(4)的一端偏心铰接在转盘(3)上，连杆(4)的另一端连接到滑台(59)；所述的滑台(59)的工作面上贴合并连接有砂纸(6)；位于滑台(59)一侧在底板(1)上还设有支架腿(27)，在支架腿(27)上垂直固连有硅片夹(28)，硅片夹(28)处于滑台(59)上方，所述的硅片夹(28)上并排开有多个用以容纳硅片的通口。