[实用新型]一种硅片亮边修磨装置

权利要求书

1.一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：包括底板(1)、连杆(4)，所述的底板(1)的工作面上设有减速电机(2)，所述的减速电机(2)的主轴上配装有转盘(3)；与转盘(3)相平行的在底板(1)的工作面上还设有导轨(10)，所述的导轨(10)上配装有滑台(59)；连杆(4)的一端偏心铰接在转盘(3)上，连杆(4)的另一端连接到滑台(59)；所述的滑台(59)的工作面上贴合并连接有砂纸(6)；位于滑台(59)一侧在底板(1)上还设有支架腿(27)，在支架腿(27)上垂直固连有硅片夹(28)，硅片夹(28)处于滑台(59)上方，所述的硅片夹(28)上并排开有多个用以容纳硅片的通口。

2.根据权利要求1所述的一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：所述的滑台(59)包括滚珠滑块(9)和工作台(5)，所述的滚珠滑块(9)与导轨(10)相配合，滚珠滑块(9)上承载并固定连接有工作台(5)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：所述的硅片夹(28)与滑台(59)相平行，硅片夹(28)为并排开有多个上下贯穿的通口的方形的块体。

4.根据权利要求1所述的一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：还包括有时间控制器，所述的时间控制器与减速电机(2)相连。

5.根据权利要求1所述的一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：所述的砂纸(6)为碳化硅干磨砂纸。

6.根据权利要求1所述的一种硅片亮边修磨装置，其特征在于：所述的硅片夹(28)的上表面的每个通口处都设有橡皮筋(8)。