[实用新型]单抛片刷洗机有效
申请号: | 201520232981.2 | 申请日: | 2015-04-16 |
公开(公告)号: | CN204632734U | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周 | 申请(专利权)人: | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B1/00;H01L33/00 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 肖兴坤 |
地址: | 213025 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单抛片刷洗机,它包括机架,机架上设置有封闭外壳,封闭外壳内具有:上料机构,上料机构具有上料工位,并且上料机构包括槽体、承载篮和槽体Z向升降机构,承载篮设置在槽体内,并且承载篮用于层装蓝宝石片,槽体Z向升降机构与槽体的底部固定连接以便当槽体Z向升降机构动作时,槽体内的承载篮上某一层蓝宝石片位于上料工位上;装料取片机构,装料取片机构具有取片工位,装料取片机构具有装料取片手,当装料取片机构动作时,所述装料取片手将上料工位上的蓝宝石片输送至取片工位上;卸料机构,卸料机构具有装片工位。它不仅能够提高蓝宝石表面的刷洗洁净度,降低蓝宝石表面污染率,而且节约了成本,加快了刷洗效率,节水节电。 | ||
搜索关键词: | 单抛片 刷洗 | ||
【主权项】:
一种单抛片刷洗机,其特征在于,它包括机架(1),机架(1)上设置有封闭外壳,封闭外壳内具有:上料机构(2),所述上料机构(2)具有上料工位,并且上料机构(2)包括槽体(21)、承载篮(22)和槽体Z向升降机构(23),承载篮(22)设置在槽体(21)内,并且承载篮(22)用于层装蓝宝石片,槽体Z向升降机构(23)与槽体(21)的底部固定连接以便当槽体Z向升降机构(23)动作时,所述的槽体(21)内的承载篮上某一层蓝宝石片位于上料工位上;装料取片机构(3),所述装料取片机构(3)具有取片工位,所述装料取片机构(3)具有装料取片手(31),当装料取片机构(3)动作时,所述装料取片手(31)将上料工位上的蓝宝石片输送至取片工位上;卸料机构(4),卸料机构(4)具有装片工位;卸料取片机构(5),所述卸料取片机构(5)具有卸料工位,所述卸料取片机构(5)具有卸料取片手(51),当卸料取片机构(5)动作时,所述的卸料取片手(51)将卸料工位上的蓝宝石片输送至装片工位上;蓝宝石容置集中槽体(6),所述蓝宝石容置集中槽体(6)具有旋转甩干工位(61)和多个旋转刷洗工位(62),并且多个旋转刷洗工位(62)和旋转甩干工位(61)从前往后依次衔接;取片搬运机械手(7),所述取片搬运机械手(7)具有多个抓片机构(71),抓片机构(71)对应于取片工位、多个旋转刷洗工位(62)、旋转甩干工位(61)和卸料工位以便取片搬运机械手(7)动作时,可将其中一个工位上的蓝宝石片输送至相邻的下一个工位上;刷洗机构(8),所述刷洗机构(8)具有多个活动刷洗头组件,并且活动刷洗头组件和旋转刷洗工位(62)一一对应以便活动刷洗头组件刷洗相对应的旋转刷洗工位(62)上的蓝宝石片;喷淋清洗装置,所述喷淋清洗装置具有多组喷淋嘴组,并且每个旋转刷洗工位(62)对应一个喷淋嘴组。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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