[实用新型]一种阴极电弧源有效
| 申请号： | 201520170028.X | 申请日： | 2015-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN204661819U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陈君;范玉山;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种阴极电弧源，属于表面处理技术领域，它解决了现有技术中阴极电弧源的靶材利用率较低、涂层颗粒粗大的问题。本阴极电弧源包括靶材、靶座、磁铁，靶材和靶座之间设有冷却水路，靶座底部设有容置腔，磁铁设置于容置腔内，磁铁呈环形，靶座外侧套设有呈圆桶形的导磁靴。本实用新型在靶材的表面形成双磁场，并通过导磁靴对磁路进行设计，使磁场尽量扁平，对离子的运动可以在很宽的范围内束缚，达到分散弧斑的运动的目的，从而达到细化膜层、提高靶材利用率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 | ||
【主权项】：
一种阴极电弧源，包括靶材、靶座、磁铁，所述的靶材和靶座之间设有冷却水路，其特征在于，所述的靶座底部设有容置腔，所述的磁铁设置于容置腔内，所述的磁铁呈环形，所述的靶座外侧套设有呈圆桶形的导磁靴。
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