[实用新型]一种阴极电弧源有效
| 申请号： | 201520170028.X | 申请日： | 2015-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN204661819U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陈君;范玉山;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极电弧源，包括靶材、靶座、磁铁，所述的靶材和靶座之间设有冷却水路，其特征在于，所述的靶座底部设有容置腔，所述的磁铁设置于容置腔内，所述的磁铁呈环形，所述的靶座外侧套设有呈圆桶形的导磁靴。
2.根据权利要求1所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的靶座上设有穿过环形磁铁中心和导磁靴的调节杆，所述的调节杆与磁铁中心紧配合，所述的调节杆可带动磁铁沿靶座纵向移动。
3.根据权利要求2所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的调节杆与靶座之间采用螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的靶座与导磁靴采用螺纹连接。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的磁铁为永磁体或电磁铁。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的导磁靴采用导磁材料制成。
7.根据权利要求2或3或4所述的阴极电弧源，其特征在于，所述的调节杆采用非导磁材料制成。
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