[实用新型]玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件

摘要

一种屏蔽组件，包括多个第一屏蔽元件及与第一屏蔽元件一一对应的多个第二屏蔽元件，多个第一屏蔽元件设置在下电极的第一电极层与下电极的第二电极层之间且首尾相连，每一第一屏蔽元件覆盖在第一电极层的顶面上且与第二电极层的侧面贴合，每一第一屏蔽元件的两端部在其底面分别设有第一滑槽与第二滑槽，每一第二屏蔽元件夹设在第一电极层的顶面与对应的第一屏蔽元件之间，并容置在对应的第一屏蔽元件的第一滑槽或第二滑槽内，且可以滑入与该对应的第一屏蔽元件相邻的另一第一屏蔽元件的第二滑槽或第一滑槽内。上述屏蔽组件可以有效保护玻璃基板蚀刻装置的下电极。本实用新型还提供一种包括上述屏蔽组件的玻璃基板蚀刻装置。

主权项

一种玻璃基板蚀刻装置，包括上电极、下电极(20)及屏蔽组件(30)，所述下电极(20)呈凸字形，包括第一电极层(201)及设置在所述第一电极层(201)的顶面(203)上的第二电极层(202)，所述屏蔽组件(30)包括多个第一屏蔽元件(31)，多个所述第一屏蔽元件(31)设置在所述第一电极层(201)与所述第二电极层(202)之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件(31)覆盖在所述第一电极层(201)的所述顶面(203)上且与所述第二电极层(202)的侧面贴合，其特征在于，所述屏蔽组件(30)还包括与所述第一屏蔽元件(31)一一对应的多个第二屏蔽元件(32)，每一所述第一屏蔽元件(31)的两端部在其底面分别设有第一滑槽(330)与第二滑槽(340)，每一所述第二屏蔽元件(32)夹设在所述第一电极层(201)的所述顶面(203)与相应的所述第一屏蔽元件(31)之间，且容置在对应的所述第一屏蔽元件(31)的所述第一滑槽(330)或所述第二滑槽(340)内，并且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件(31)相邻的另一所述第一屏蔽元件(31)的所述第二滑槽(340)或所述第一滑槽(330)内。