[实用新型]玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶面板的制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件。

背景技术

在液晶面板的制造过程中，需要对已经对镀膜的玻璃基板进行蚀刻，以在玻璃基板上形成需要的电路。现有的玻璃基板的蚀刻过程是通过在上电极与下电极之间充满氯气等腐蚀性气体，然后在上电极与下电极之间加载电压，将氯气等腐蚀性气体激发成腐蚀性电子以对玻璃基板进行蚀刻，然而腐蚀性电子同时也会蚀刻下电极。为了解决玻璃基板的蚀刻过程中，腐蚀性电子蚀刻下电极的问题，现有技术中一般在下电极上设置屏蔽元件，来避免下电极被腐蚀性电子蚀刻。

图1是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图，图2是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的立体结构示意图，图3是图2中的下电极的结构示意图，如图1所示，现有的玻璃基板蚀刻装置包括上电极(图未示出)、下电极10以及多个屏蔽元件121。下电极10呈凸字形结构，包括第一电极层101及设置在第一电极层101的顶面103上的第二电极层102。多个屏蔽元件121设置在第一电极层101与第二电极层102之间且首尾相连形成环状，并且多个屏蔽元件121覆盖在第一电极层101的顶面103与第二电极层102的侧面贴合。每一屏蔽元件121呈L形，包括第一屏蔽段120及自第一屏蔽段120的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段122，第一屏蔽段120的自由端上形成有锯齿状的第一结合部123，第二屏蔽段122的自由端上形成有锯齿状的第二结合部124，四个屏蔽元件121在首尾连接时，其中一个屏蔽元件121的第一结合部123与其临近的另一屏蔽元件121的第二结合部124结合，使多个屏蔽元件121紧密结合在一起。但是，现有技术中的玻璃基板蚀刻装置在长时间的使用后，腐蚀性电子会蚀刻相连的两个屏蔽元件121的结合处，使两个屏蔽元件121的结合处的间隙变大，从而导致腐蚀性电子通过两个屏蔽元件121的结合处的间隙对下电极10蚀刻的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种玻璃基板蚀刻装置，以解决现有技术中的玻璃基板蚀刻装置在蚀刻玻璃基板时，两个屏蔽元件的结合处的间隙变大，腐蚀性电子容易通过两个屏蔽元件之间的间隙对下电极蚀刻的问题。

本实用新型提供一种玻璃基板蚀刻装置，包括上电极、下电极及屏蔽组件。所述下电极呈凸字形，包括第一电极层及设置在所述第一电极层的顶面上的第二电极层，所述屏蔽组件包括多个第一屏蔽元件，多个所述第一屏蔽元件设置在所述第一电极层与所述第二电极层之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件覆盖在所述第一电极层的所述顶面上且与所述第二电极层的侧面贴合，所述屏蔽组件还包括与所述第一屏蔽元件一一对应的多个第二屏蔽元件，每一所述第一屏蔽元件的两端部在其底面分别设有第一滑槽与第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夹设在所述第一电极层的所述顶面与相应的所述第一屏蔽元件之间，且容置在对应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽内，并且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件相邻的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽内。

进一步地，每一所述第一屏蔽元件均呈L形，包括第一屏蔽段及自所述第一屏蔽段的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段，所述第一滑槽开设在所述第一屏蔽段的自由端的底面上，所述第二滑槽开设在所述第二屏蔽段的自由端的底面上。

进一步地，每一所述第二屏蔽元件安装在相应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽内，并且所述第一屏蔽元件的所述第一屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第一屏蔽段的所述第一滑槽连通的通孔。

进一步地，每一所述第二屏蔽元件还可以安装在所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽内，相应的每一所述第二屏蔽元件的所述第二屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第二屏蔽段的所述第二滑槽连通的通孔。

进一步地，每一所述第一屏蔽元件为L形的陶瓷件。

进一步地，每一所述第二屏蔽元件为陶瓷块。

本实用新型还提供一种屏蔽组件，用于保护玻璃基板蚀刻装置的下电极，包括多个第一屏蔽元件及与所述第一屏蔽元件一一对应的多个第二屏蔽元件，多个所述第一屏蔽元件设置在所述下电极的第一电极层与所述下电极的第二电极层之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件覆盖在所述第一电极层的顶面上且与所述第二电极层的侧面贴合，每一所述第一屏蔽元件的两端部于其底面分别设有第一滑槽与第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夹设在所述第一电极层的所述顶面与对应的所述第一屏蔽元件之间，并容置在对应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽内，且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件相邻的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽内。