[实用新型]玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件

权利要求书

1.一种玻璃基板蚀刻装置，包括上电极、下电极(20)及屏蔽组件(30)，所述下电极(20)呈凸字形，包括第一电极层(201)及设置在所述第一电极层(201)的顶面(203)上的第二电极层(202)，所述屏蔽组件(30)包括多个第一屏蔽元件(31)，多个所述第一屏蔽元件(31)设置在所述第一电极层(201)与所述第二电极层(202)之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件(31)覆盖在所述第一电极层(201)的所述顶面(203)上且与所述第二电极层(202)的侧面贴合，其特征在于，所述屏蔽组件(30)还包括与所述第一屏蔽元件(31)一一对应的多个第二屏蔽元件(32)，每一所述第一屏蔽元件(31)的两端部在其底面分别设有第一滑槽(330)与第二滑槽(340)，每一所述第二屏蔽元件(32)夹设在所述第一电极层(201)的所述顶面(203)与相应的所述第一屏蔽元件(31)之间，且容置在对应的所述第一屏蔽元件(31)的所述第一滑槽(330)或所述第二滑槽(340)内，并且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件(31)相邻的另一所述第一屏蔽元件(31)的所述第二滑槽(340)或所述第一滑槽(330)内。

2.如权利要求1所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于，每一所述第一屏蔽元件(31)均呈L形，包括第一屏蔽段(33)及自所述第一屏蔽段(33)的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段(34)，所述第一滑槽(330)开设在所述第一屏蔽段(33)的自由端的底面上，所述第二滑槽(340)开设在所述第二屏蔽段(34)的自由端的底面上。

3.如权利要求2所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于，每一所述第二屏蔽元件(32)安装在相应的所述第一屏蔽元件(31)的所述第一滑槽(330)内，并且所述第一屏蔽元件(31)的所述第一屏蔽段(33)沿着其长度延伸方向设有与所述第一屏蔽段(33)的所述第一滑槽(330)连通的通孔(332)。

4.如权利要求2所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于，每一所述第二屏 蔽元件(32)还可以安装在所述第一屏蔽元件(31)的所述第二滑槽(340)内，相应的每一所述第二屏蔽元件(32)的所述第二屏蔽段(34)沿着其长度延伸方向设有与所述第二屏蔽段(34)的所述第二滑槽(340)连通的通孔。

5.如权利要求1所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于，每一所述第一屏蔽元件(31)为L形的陶瓷件。

6.如权利要求1所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于，每一所述第二屏蔽元件(32)为陶瓷块。

7.一种屏蔽组件，用于保护玻璃基板蚀刻装置的下电极(20)，其特征在于，包括多个第一屏蔽元件(31)及与所述第一屏蔽元件(31)一一对应的多个第二屏蔽元件(32)，多个所述第一屏蔽元件(31)设置在所述下电极(20)的第一电极层(201)与所述下电极(20)的第二电极层(202)之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件(31)覆盖在所述第一电极层(201)的顶面(203)上且与所述第二电极层(202)的侧面贴合，每一所述第一屏蔽元件(31)的两端部于其底面分别设有第一滑槽(330)与第二滑槽(340)，每一所述第二屏蔽元件(32)夹设在所述第一电极层(201)的所述顶面(203)与对应的所述第一屏蔽元件(31)之间，并容置在对应的所述第一屏蔽元件(31)的所述第一滑槽(330)或所述第二滑槽(340)内，且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件(31)相邻的另一所述第一屏蔽元件(31)的所述第二滑槽(340)或所述第一滑槽(330)内。

8.如权利要求7所述的屏蔽组件，其特征在于，每一所述第一屏蔽元件(31)均呈L形，包括第一屏蔽段(33)及自所述第一屏蔽段(33)的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段(34)，所述第一滑槽(330)开设在所述第一屏蔽段(33)的自由端的底面上，所述第二滑槽(340)开设在所述第二屏蔽段(34)的自由端的底面上。

9.如权利要求8所述的屏蔽组件，其特征在于，每一所述第二屏蔽元件(32)安装在相应的所述第一屏蔽元件(31)的所述第一滑槽(330)内，并且所述第 一屏蔽元件(31)的所述第一屏蔽段(33)沿着其长度延伸方向设有与所述第一屏蔽段(33)的所述第一滑槽(330)连通的通孔(332)。

10.如权利要求8所述的屏蔽组件，其特征在于，每一所述第二屏蔽元件(32)安装在所述第一屏蔽元件(31)的所述第二滑槽(340)内，相应的每一所述第一屏蔽元件(31)的所述第二屏蔽段(34)沿着其长度延伸方向设有与所述第二屏蔽段(34)的所述第二滑槽(340)连通的通孔。