[实用新型]基板托盘结构

摘要

本实用新型是基板托盘结构，包括托盘（1）、螺丝孔（2）、固定点Ⅰ（3）、固定点Ⅱ（31）和基板放置区（4），所述托盘（1）上的基板放置区（4）排列为六角形，呈上下左右对称的排列方式，每个基板放置区（4）的四周开有不止两个的螺丝孔（2），托盘（1）的五点钟方向设置有固定点Ⅰ（3），托盘（1）的十一点钟方向设置有固定点Ⅱ（31）；本结构是在一个托盘内将基板放置区的排列方式按照六角形排列的方法来排列，使托盘内可容纳的基板放置区的数量达到31个，而按照传统的排列方法只能容纳23个，这样生产性可提高35%，有效降低了生产成本，并使托盘上光阻剂的体积量增加，提升产能并改善产品的均匀性。

主权项

一种基板托盘结构，其特征在于，包括托盘（1）、螺丝孔（2）、固定点Ⅰ（3）、固定点Ⅱ（31）和基板放置区（4），所述托盘（1）上的基板放置区（4）排列为六角形，呈上下左右对称的排列方式，每个基板放置区（4）的四周开有不止两个的螺丝孔（2），托盘（1）的五点钟方向设置有固定点Ⅰ（3），托盘（1）的十一点钟方向设置有固定点Ⅱ（31）。