[实用新型]基板托盘结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板托盘结构，属于半导体领域。

背景技术

一般用于LED上的蓝宝石基板的直径为2英寸、4英寸、6英寸，与用于半导体上的基板相比尺寸属于小型基板，在这种小型的蓝宝石基板上进行与生产LED相关的生产过程中发现不能一次性对更多的基板进行相应的工艺处理并且维持产品的均匀性，由于在单次工艺中不能生产较多的产品，而且托盘在上下盘组合之后，会出现上下盘不能完全密闭，致使在托盘内会发生冷却气体泄漏，解决此问题已经刻不容缓。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种基板托盘结构，可以在单次工艺进行时增加基板放置区的数量，并使托盘上光阻剂的体积量增加，提升产能并改善产品的均匀性，生产性可提高35%，降低了生产成本。

为了实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种基板托盘结构，包括托盘、螺丝孔、固定点Ⅰ、固定点Ⅱ和基板放置区，所述托盘上的基板放置区排列为六角形，呈上下左右对称的排列方式，每个基板放置区的四周开有不止两个的螺丝孔，托盘的五点钟方向设置有固定点Ⅰ，托盘的十一点钟方向设置有固定点Ⅱ。

所述的基板放置区的排列方式由上而下的排列数量依次为2个、5个、6个、5个、6个、5个和2个。

所述的螺丝孔的排列方式由上而下的排列数量依次为2个、5个、4个、7个、7个、4个、5个和2个。

本结构是在数量一个托盘内按照基板放置区六角形排列的方法使其可容纳31个，而按照传统的排列方法只能容纳23个，单次工艺进行时可比传统的托盘多生产8个产品,这样生产性可提高35%，有效降低了生产成本，并使托盘上光阻剂的体积量增加，提升产能并改善产品的均匀性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、托盘，2、螺丝孔，3、固定点Ⅰ，31、固定点Ⅱ，4、基板放置区。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1所示，本基板托盘结构，包括托盘1、螺丝孔2、固定点Ⅰ3、固定点Ⅱ31和基板放置区4，所述托盘1上的基板放置区4排列为六角形，呈上下左右对称的排列方式，每个基板放置区4的四周开有不止两个的螺丝孔2，托盘1的五点钟方向设置有固定点Ⅰ3，托盘1的十一点钟方向设置有固定点Ⅱ31，有效的防止了托盘1组合时会出现上下盘错位的可能，使托盘能够更容易的组合起来，在生产过程中发现当固定点Ⅰ3设置在托盘1一点钟方向，固定点Ⅱ31设置在托盘1七点钟方向时，也可以有效的防止了托盘1组合时会出现上下盘错位的可能，使托盘能够更容易的组合起来。

所述的基板放置区4的排列方式由上而下的排列数量依次为2个、5个、6个、5个、6个、5个和2个，操作人员根据本基板放置区4的排列方式可以比传统的排列方式多容纳8个，这样就能有效的提高生产效率，而且使得产品的均匀性也有所提高。

所述的螺丝孔2的排列方式由上而下的排列数量依次为2个、5个、4个、7个、7个、4个、5个和2个，本结构增加了螺丝孔2的数量，可使托盘的上下盘紧密的结合，有效的防止了冷却气体的泄漏。