[实用新型]一种湿法清洗装置有效
| 申请号： | 201520026084.6 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN204412667U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王岩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种湿法清洗装置，所述装置至少包括：喷头；所述喷头包括含有喷嘴的弯曲部及连接在弯曲部下的竖直部；所述竖直部套设有轴承；所述轴承与所述竖直部通过一凹槽相匹配；所述轴承上设有译码器；所述译码器与所述轴承相对固定；所述译码器通过读头与一刻度条相连接；与所述译码器相连接的放大器。本实用新型通过在现有的湿法清洗装置中设置刻度条、与刻度条相连的译码器以及放大器来监测喷头的运动轨迹和位置，有效克服了现有技术中由于马达驱动喷头工作且在异常工作的情况下反馈不及时的困难，提高了生产的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种湿法清洗装置，其特征在于，所述装置至少包括：喷头；所述喷头包括含有喷嘴的弯曲部及连接在弯曲部下的竖直部；所述竖直部套设有轴承；所述轴承与所述竖直部通过一凹槽相匹配；所述轴承上设有译码器；所述译码器与所述轴承相对固定；所述译码器连接有读头；所述读头与一刻度条相吸合；所述刻度条固定于一固定环上；所述译码器连接有放大器。
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