[实用新型]一种湿法清洗装置有效
| 申请号： | 201520026084.6 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN204412667U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王岩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 清洗 装置 | ||
1.一种湿法清洗装置，其特征在于，所述装置至少包括：
喷头；所述喷头包括含有喷嘴的弯曲部及连接在弯曲部下的竖直部；
所述竖直部套设有轴承；所述轴承与所述竖直部通过一凹槽相匹配；
所述轴承上设有译码器；所述译码器与所述轴承相对固定；
所述译码器连接有读头；所述读头与一刻度条相吸合；
所述刻度条固定于一固定环上；所述译码器连接有放大器。
2.根据权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述凹槽套设在所述竖直部且与所述竖直部相对固定。
3.根据权利要求2所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述轴承设有内圈和外圈；所述内圈与所述凹槽相互匹配。
4.根据权利要求3所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述译码器与所述轴承的内圈相对固定。
5.根据权利要求4所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述译码器与所述读头通过一弹簧相互连接。
6.根据权利要求5所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述刻度条为环绕所述译码器、所述轴承的环形刻度条；该环形刻度条的底部与所述轴承的底部相齐平。
7.根据权利要求6所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述环形刻度条的上表面高于所述译码器的顶部。
8.根据权利要求7所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述环形刻度条的上表面与所述凹槽的上表面相齐平。
9.根据权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述喷头的竖直部连接有马达。
10.根据权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于：所述放大器中设有状态显示器、串行接口、输入、输出网端以及控制电源。
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